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lf2000系列液体质量流量传感器 lf2000系列液体流量传感器采用矽翔微机电系统有限公司的mems流量传感技术和传感器封装技术，集合了热飞行时间(tof)和量热传感原理而设计。传感器外壳材料为化学性能稳定的聚碳酸酯，独特的mems传感器芯片结构和特殊的分装技术使得传感器最大工作压力可达到0.5mpa。
mf4000系列气体质量流量计 mf4000系列气体质量流量计是专为管径为3mm~8mm的气体管路中的低速气流的流量计量而设计。螺纹与各种快速接口可轻松实现机械接口转换，满足用户多种气体管路的要求，该产品可用于过程控制、大气采样等各种工业应用。
fs1015cl系列气体质量流量传感器 fs1015cl系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（mems）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150slpm，iso15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。
lf2600系列液体流量传感器 lf2600系列液体流量传感器采用矽翔微机电系统有限公司的mems流量传感技术和传感器封装技术，集合了热飞行时间(tof)和量热传感原理而设计。传感器外壳材料为化学性能稳定的聚碳酸酯，独特的mems传感器芯片结构和特殊的分装技术使得传感器最大工作压力可达到0.5mpa。
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    简介
    矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，siargo ltd. ）成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程mems气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一mems流量芯片及其专利封...
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